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方案介紹

蝕刻液中陰離子的測定

在集成電路制造過程中，常需要在晶圓上定義出極細(xì)微尺寸的圖案，這些圖案主要的形成方式是藉由蝕刻技術(shù)，將微影后產(chǎn)生的光阻圖案忠實(shí)的轉(zhuǎn)印至光阻下的材質(zhì)上，以形成集成電路的復(fù)雜架構(gòu)。因此蝕刻技術(shù)在半導(dǎo)體制造過程中占有極重要的地位。蝕刻技術(shù)大略可分為濕式蝕刻和干式蝕刻兩種技術(shù)。濕式蝕刻是利用特定的化學(xué)溶液將待蝕刻薄膜未被光阻覆蓋的部分分解，并轉(zhuǎn)成可溶于此溶液的化合物后加以排除，從而達(dá)到蝕刻的目的。大部分的蝕刻過程包含一個(gè)或多個(gè)化學(xué)反應(yīng)，常見的是先將待蝕刻層表面予以氧化，再將此氧化層溶解，如此反復(fù)達(dá)到蝕刻的效果，因此蝕刻液大多由一種或多種酸溶液混合而成。離子色譜可檢測蝕刻液中的酸根離子，亦可檢測經(jīng)蝕刻后的電路板上酸根的殘留量。

色譜條件

分析柱：SH-AG-1+SH-AC-11

流動(dòng)相：13 mM KOH（EG）

流速：1.0 mL/min

柱溫：35℃

抑制器：SHY-A-6

進(jìn)樣體積：25 μL

前處理：樣品稀釋適當(dāng)倍數(shù)過 Na 柱和 0.22 μm 濾膜，進(jìn)樣分析。

蝕刻液中陰離子譜圖

青島市科學(xué)技術(shù)協(xié)會、青島市分析測試學(xué)會領(lǐng)導(dǎo)參觀盛瀚，達(dá)成合作協(xié)議

天朗氣清，惠風(fēng)和暢。在青島最美的季節(jié)，青島市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(以下簡稱科協(xié))、青島市分析測試學(xué)會(以下簡稱學(xué)會)以及中國海洋大學(xué)的眾領(lǐng)導(dǎo)共12人來到盛瀚進(jìn)行交流考察，共同探討儀器行業(yè)發(fā)展議題并達(dá)成戰(zhàn)略合作意向。

盛瀚聯(lián)合行業(yè)協(xié)會，助力高?？蒲薪ㄔO(shè)高質(zhì)量發(fā)展！

年關(guān)臨近各大實(shí)驗(yàn)室、科研院所新增采購任務(wù) 時(shí)間緊、儀器多不會選怎么辦？在國家政策紅利激勵(lì)下，全國高校、職業(yè)院校應(yīng)科研及教學(xué)需求，紛紛申報(bào)采購儀器。但高校老師查詢國內(nèi)外數(shù)百款儀器，工作量巨大。儀器設(shè)備

離子色譜儀工作前液體樣品的兩種預(yù)處理方法

　　離子色譜儀是液相色譜儀的一種，故又稱離子色譜儀（HPIC）或現(xiàn)代離子色譜儀，主要用于環(huán)境樣品的分析，包括地面水、飲用水、雨水、生活污水和工業(yè)廢水、酸沉降物和大氣顆粒物等樣品中的陰、陽離子，與微電子工業(yè)有關(guān)的水和試劑中痕量雜質(zhì)的分析。

盛瀚應(yīng)邀參加青島市分析測試學(xué)會2017年年會暨學(xué)術(shù)報(bào)告會

1月10日，在青島大學(xué)國際學(xué)術(shù)交流中心，青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司如期應(yīng)邀參加了“青島市分析測試學(xué)會2017年年會暨學(xué)術(shù)報(bào)告會及儀器展會”。此次參會，盛瀚除隆重展示了公司新品D160，還在會上作了《離子色譜法檢測水產(chǎn)品中的多聚磷酸鹽》的學(xué)術(shù)報(bào)告，會議最后，市場中心總監(jiān)孫旭光在會上做了重要發(fā)言。

盛瀚色譜線下培訓(xùn)進(jìn)行時(shí)

今年，盛瀚在全國陸續(xù)開展了一輪線下色譜培訓(xùn)班，截止日前已完成12期小班培訓(xùn)，盛瀚售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)的足跡走遍大江南北，東莞、南通、青島、沈陽、廣州、銀川、成都、濰坊、合肥、石家莊、鄭州……